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基于结的深台面终端用于千伏级垂直β-Ga2O3功率器件
Junction-based deep mesa termination for multi-kilovolt vertical β-Ga2O3 power devices
Jiangbin Wan · Hengyu Wang · Chi Zhang · Ce Wang · Applied Physics Letters · 2025年1月 · Vol.126
本文报道了一种基于结的深台面终端结构,用于提升千伏级以上垂直β-Ga2O3功率器件的击穿性能。通过精确控制台面刻蚀深度并结合p型掺杂层形成局部PN结,有效调制表面电场分布,抑制边缘击穿。实验结果表明,该终端结构显著提高了器件的击穿电压与可靠性,为高性能氧化镓功率器件的规模化应用提供了可行方案。
解读: 该β-Ga2O3功率器件终端技术对阳光电源具有前瞻性战略价值。深台面结终端结构实现的千伏级击穿电压和高可靠性,可为ST系列储能变流器和SG系列光伏逆变器的下一代功率模块提供超越SiC的技术路径。Ga2O3的超宽禁带特性(4.8eV)和高临界击穿场强(8MV/cm)可显著降低导通损耗,提升1500V光...
使用超窄窗口条形掩模实现c面α-Ga2O3的外延横向过生长
Epitaxial lateral overgrowth of _c_-plane α-Ga2O3 using a stripe mask with ultra-narrow windows
Yuichi Oshima · Takashi Shinohe · Applied Physics Letters · 2025年1月 · Vol.126
采用卤化物气相外延法,结合窗口宽度为50–750 nm的条形掩模,实现了α-Ga2O3的外延横向过生长。即使在最窄窗口条件下,α-Ga2O3仅在窗口区域选择性生长,掩模表面无非故意成核。腐蚀坑观察与截面透射电镜分析表明,缩小窗口显著抑制了位错向再生层的延伸。对于50 nm窗口掩模,合并后的薄膜整体位错密度低至4×10⁷ cm⁻²(包含窗口区与合并边界)。该结果对发展高性能α-Ga2O3基功率器件具有重要意义。
解读: 该研究在α-Ga2O3外延生长方面的突破对阳光电源功率器件技术具有重要价值。超低位错密度(4×10⁷ cm⁻²)的α-Ga2O3材料有望用于开发新一代宽禁带功率器件,可应用于SG系列光伏逆变器和ST系列储能变流器的功率模块。相比现有SiC器件,α-Ga2O3基器件具有更高的击穿电场和更低的导通损耗,...
首次实现高击穿电压和低漏电流的CuCrO2/β-Ga2O3 p-n异质结二极管
First Demonstration of CuCrO2/β-Ga2O3 p-n Heterojunction Diode With High Breakdown Voltage and Low Leakage Current
Ying Li · Jialong Lin · Chengyi Tian · Xinwei Wang 等6人 · IEEE Transactions on Electron Devices · 2025年6月
我们首次展示了一种高性能的 CuCrO₂/β - 氧化镓(β - Ga₂O₃) p - n 异质结二极管(HJD),其具有高击穿电压和低泄漏电流。在没有任何复合终端结构的情况下,CuCrO₂/β - Ga₂O₃ 异质结二极管实现了 1.46 kV 的高击穿电压,泄漏电流低至 10 μA/cm²,这比传统的 β - Ga₂O₃ 肖特基势垒二极管(SBD)几乎提高了四倍。同时,该异质结二极管的开启电压为 1.62 V,比导通电阻相对较低,为 5.36 mΩ·cm²,功率品质因数(PFOM)达到 0....
解读: 从阳光电源的业务角度来看,这项CuCrO2/β-Ga2O3异质结二极管技术展现出显著的战略价值。该器件实现了1.46 kV的高击穿电压和10 μA/cm²的超低漏电流,性能较传统肖特基势垒二极管提升近四倍,功率品质因数达到0.4 GW/cm²,这些参数直接契合我们在高功率光伏逆变器和储能变流器中对功...
SnO/β-Ga2O3异质结的能带对齐及其在功率器件应用中的电学特性
Band alignment of SnO/β-Ga2O3 heterojunction and its electrical properties for power device application
Xia Wu1Chenyang Huang1Xiuxing Xu1Jun Wang1Xinwang Yao1Yanfang Liu2Xiujuan Wang1Chunyan Wu1Linbao Luo1 · 半导体学报 · 2025年1月 · Vol.46
本研究通过射频反应磁控溅射法制备了垂直结构SnO/β-Ga2O3异质结二极管(HJD)。利用X射线光电子能谱测得β-Ga2O3与SnO的价带和导带偏移分别为2.65 eV和0.75 eV,呈现Ⅱ型能带对齐。相较于肖特基势垒二极管(SBD),HJD表现出相当的比导通电阻(2.8 mΩ·cm²)和更低的反向漏电流,实现1675 V的击穿电压和1.0 GW/cm²的功率优值,展现出优异的反向阻断特性及高质量异质界面。Silvaco TCAD模拟表明,SnO层有效缓解了阳极边缘电场集中,揭示其在β-Ga...
解读: 该SnO/β-Ga2O3异质结功率器件技术对阳光电源功率半导体应用具有前瞻价值。其1675V击穿电压、2.8mΩ·cm²低导通电阻和1.0GW/cm²功率优值,可应用于ST系列储能变流器和SG系列光伏逆变器的高压功率模块设计。相比传统SiC器件,β-Ga2O3超宽禁带特性(~4.8eV)可支撑更高耐...
横向β-Ga2O3 MOSFET器件的4 A/300 V开关特性
4 A/300 V Switching of Lateral β-Ga2O3 MOSFET Devices
Kornelius Tetzner · Houssam Halhoul · Martin Damian Cuallo · Oliver Hilt · IEEE Electron Device Letters · 2025年7月
本研究报告了横向 $\beta$-Ga₂O₃ 金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)器件的高压开关性能,重点关注千瓦级工作条件下的动态行为。采用脉冲电流 - 电压(I - V)和瞬态开关测量对总栅极宽度为 92 毫米的大周长器件进行了表征。脉冲输出特性显示,漏极峰值电流达到 13 A,这是 $\beta$-Ga₂O₃ 晶体管有报道以来的最高值,同时导通电阻为 720 mΩ。通过晶圆上测量捕捉到了高压开关瞬态过程,器件承受的关态漏极电压最高可达 350 V。随着关态漏极电压从 10 V 增加...
解读: 从阳光电源的业务视角来看,这项β-Ga2O3 MOSFET器件的研究代表了功率半导体领域的重要技术突破。该器件实现了4A/300V的千瓦级开关操作,峰值漏极电流达到13A,这对我们的光伏逆变器和储能变流器产品具有潜在应用价值。 从技术性能分析,β-Ga2O3材料的超宽禁带特性(约4.8eV)使其理...
鳍片倾斜角度优化以提升横向β-Ga2O3 MOSFET的电学性能
Optimization of fin-slanted angles for enhanced electrical performance in lateral _β_-Ga2O3 MOSFETs
Haiwen Xu · Jishen Zhang · Xiao Gong · Applied Physics Letters · 2025年1月 · Vol.126
本研究通过实验与Sentaurus TCAD仿真相结合,系统探讨了鳍片倾斜角度(α)对横向β-Ga2O3 MOSFET电学性能的影响。器件呈现增强型特性,开关比达约10⁷。随着α增大,漏源电流(IDS)和外在跨导(Gm)显著提升。同时,因边缘电场集中效应缓解,耐压性能明显改善,在α=15°、栅漏距(LGD)为10 μm时击穿电压(VBR)提高40%。电场分布模拟表明,α≈25°可有效抑制电场聚集,优化直流性能。
解读: 该β-Ga2O3 MOSFET鳍片优化技术对阳光电源功率器件升级具有前瞻价值。Ga2O3作为超宽禁带半导体(Eg~4.8eV),理论击穿场强达8MV/cm,远超SiC的3倍,可支撑更高电压等级应用。研究中通过α=25°鳍片角度优化实现击穿电压提升40%且抑制边缘电场集中的设计思路,可借鉴至ST系列储...
多指α-Ga₂O₃超宽禁带电子器件中加热的去中心化
Decentralization of the Heating in Multi-Finger α-Ga₂O₃ Ultra-Wide Bandgap Electronics
作者未知 · IEEE Electron Device Letters · 2025年1月
α - Ga₂O₃是有望推动下一代电力电子技术发展的超宽禁带半导体之一。然而,由于其热力学不稳定且热导率较低,过热问题阻碍了α - Ga₂O₃器件的应用。本研究揭示了多指α - Ga₂O₃金属 - 氧化物 - 半导体场效应晶体管(MOSFET)中热串扰的不利影响。通过第一性原理计算和基于激光的泵浦 - 探测测量确定了α - Ga₂O₃的热导率(室温下约为12瓦每米开尔文)。进行了器件热特性表征和建模,以设计一种脊椎形多指器件布局,该布局通过分散整个器件的发热分布来减轻热串扰。
解读: 从阳光电源的业务视角来看,这项关于α-Ga₂O₃超宽禁带半导体的热管理研究具有重要的战略参考价值。α-Ga₂O₃作为新一代功率半导体材料,其超宽禁带特性(约5.0 eV)理论上可实现更高的击穿电压和更低的导通损耗,这对我们的光伏逆变器和储能变流器等核心产品的效率提升具有显著意义。 该研究揭示的热串...
多晶β-Ga2O₃在神经形态信息存储中的应用:载流子陷阱中心导致持续光电导效应
Polycrystalline β-Ga2O3 Used in Neuromorphic Information Storage: Trapping Centers for Carriers Leads to Persistent Photoconductive Effect
Zhao-Ying Xi · Mao-Sheng Liu · Shan Li · Xue-Qiang Ji 等6人 · IEEE Transactions on Electron Devices · 2025年10月
神经形态视觉传感器(NVSs)凭借突触行为解决了传统设备的瓶颈问题,有助于应对高功耗和处理速度慢的挑战。载流子俘获层在 NVSs 的突触行为中起着重要作用。在这项工作中,我们提出使用多晶 β - Ga₂O₃ 作为光敏和载流子俘获材料,以简化 NVSs 的多层结构。通过利用晶界增强了多晶 β - Ga₂O₃ 光电传感器的持续光电导(PPC)效应。通过表征和电学测试对俘获效应进行了深入研究。此外,研究表明,β - Ga₂O₃ 器件能够模拟生物神经形态行为,展现出多种基本突触行为。最后,已证明该器件能...
解读: 从阳光电源的业务视角来看,这项基于多晶β-Ga2O3的神经形态光电传感技术虽属前沿研究,但其核心机制与我们在储能系统和智能化电力电子设备中的技术需求存在潜在契合点。 该技术的持续光电导效应(PPC)和载流子捕获机制,本质上实现了一种无需外部供电的信息存储方式。这与阳光电源储能系统追求的低功耗、高可...
面向SiC上异质集成β-Ga2O3 SBD布局设计的电热分析
Electrothermal Analysis for Layout Design of Hetero-Integrated β-Ga2O3 SBDs on SiC
Yinfei Xie · Yang He · Zhenghao Shen · Zhenyu Qu 等6人 · IEEE Transactions on Electron Devices · 2024年12月
β相氧化镓(β - Ga₂O₃)在下一代电力电子领域具有广阔前景,但其较低的热导率要求进行有效的热管理,特别是在高功率应用中。以往的研究主要集中于采用高导热率衬底策略来增强β - Ga₂O₃器件的散热性能。本研究通过三维拉曼测温法和电热模拟进行综合分析,对碳化硅(SiC)上异质集成的β - Ga₂O₃肖特基势垒二极管(SBD)的电极布局(包括形状、尺寸和间距)进行了优化。由于电流密度较高,圆形电极肖特基势垒二极管的峰值温度出现在内电极附近,而叉指电极肖特基势垒二极管的峰值温度出现在阳极附近。特别...
解读: 从阳光电源的业务视角来看,这项关于β-Ga2O3肖特基势垒二极管(SBD)异质集成技术的研究具有重要的战略参考价值。作为功率半导体器件的潜在革新方向,β-Ga2O3材料凭借其超宽禁带特性,理论上可实现比传统硅基甚至碳化硅器件更高的击穿电压和更低的导通损耗,这与我们在光伏逆变器和储能变流器领域追求的高...
基于GaN缓冲层的硅衬底上实现高击穿电压的常关型Ga2O3晶体管
High breakdown voltage normally off Ga2O3 transistors on silicon substrates using GaN buffer
Mritunjay Kumar · Vishal Khandelwal · Dhanu Chettri · Ganesh Mainali · Applied Physics Letters · 2025年1月 · Vol.126
本文报道了一种在硅衬底上利用GaN缓冲层实现的高性能常关型Ga2O3金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)。通过引入GaN缓冲层,有效缓解了Ga2O3与硅衬底之间的晶格失配和热应力问题,显著提升了外延质量与器件耐压能力。该器件表现出优异的开关特性与高击穿电压,同时实现了增强型工作模式,适用于高功率电子应用。研究为在低成本硅衬底上集成高性能氧化镓器件提供了可行路径。
解读: 该研究开发的高击穿电压Ga2O3晶体管技术对阳光电源的功率器件升级具有重要参考价值。GaN缓冲层方案可应用于公司SG系列高功率密度光伏逆变器和ST系列储能变流器的新一代功率模块设计,有望在降低成本的同时提升器件耐压性能。特别是在1500V系统应用场景中,该技术可优化三电平拓扑的开关特性,提高系统效率...
基于蓝宝石衬底的高探测率快速β-Ga₂O₃日盲光电探测器
Fast β-Ga₂O₃ Solar-Blind Photodetectors With High Detectivity on Sapphire Substrates
Chen He · Jun Zheng · Yiyang Wu · Jinlai Cui 等5人 · IEEE Electron Device Letters · 2024年11月
近年来,由于具有超宽的禁带宽度,Ga₂O₃日盲光电探测器(PD)得到了广泛研究。在本研究中,采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法在蓝宝石衬底上生长了半高宽(FWHM)为0.19°的高质量β - Ga₂O₃薄膜。制备了Ga₂O₃金属 - 半导体 - 金属光电探测器,其表现出高达1.89×10⁵(R₂₅₀ₙₘ/R₄₀₀ₙₘ)的高响应波长选择性。在10 V偏压下,该光电探测器在254 nm波长处的响应度(R)约为500 A/W,比探测率(D*)为1.7×10¹⁴琼斯,响应时间仅为1.5 ms,这...
解读: 从阳光电源的业务视角来看,该β-Ga₂O₃日盲紫外光电探测器技术虽非直接应用于能量转换领域,但在新能源系统的智能化监测与安全防护方面具有潜在战略价值。 **业务协同价值分析:** 该技术的日盲特性(仅响应250-280nm紫外光)可应用于大型光伏电站和储能系统的电晕放电监测。高压设备产生的电晕会辐...
用于可见光检测的Ag/Ga2O3/n-Si肖特基型光电探测器
Ag/Ga2O3/n-Si Schottky-type photodetector for visible light detection
The Williamson-Hall (WH) method is another widely used method to estimate the grain size \[ [38](https://link.springer.com/article/10.1007/s10854-025-14892-y#ref-CR38 "G.L. Williamson · Journal of Materials Science: Materials in Electronics · 2025年1月 · Vol.36.0
氧化镓(Ga2O3)是一种超宽禁带材料,因其在功率电子器件、紫外(UV)光电探测器和气体传感器中的潜在应用而受到越来越多的关注。在本研究中,我们采用电沉积技术在n型硅(n-Si)衬底上合成了β相Ga2O3,并研究了其在结合Si与Ga2O3实现宽带检测的光电探测器应用中的性能。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)结合能谱分析(EDX)对Ga2O3的结构和形貌特性进行了表征。采用热蒸发技术在Ga2O3/n-Si结上制备了Ag金属接触,并在n-Si背面形成了Al欧姆接触。由此制备了Ag...
解读: 该Ga2O3/Si肖特基光电探测器技术对阳光电源光伏逆变器和储能系统具有重要参考价值。其宽禁带半导体异质结构与公司SiC/GaN功率器件技术路线契合,700nm波段122.88 A/W高响应率可优化SG系列逆变器的光照监测精度,提升MPPT追踪效率。电化学沉积法制备工艺为低成本传感器集成提供思路,可...
实现超宽禁带半导体ε-Ga2O3的自支撑单晶取向薄膜及其在光电子器件应用中的前景
Realizing freestanding single-crystal oriented membranes of ultrawide-bandgap semiconductor ε-Ga2O3 and their prospects in optoelectronic device applications
Tao Zhang · Jiaying Shen · Dianmeng Dong · Qingyi Zhang 等6人 · Applied Physics Letters · 2025年1月 · Vol.126
本文报道了高质量自支撑单晶ε-Ga2O3取向薄膜的制备方法,该材料具有超宽禁带特性,展现出优异的热稳定性和化学惰性。通过异质外延生长结合剥离技术,成功获得可转移的柔性薄膜,并系统表征其晶体结构与光学性能。结果表明,ε-Ga2O3薄膜具有明确的晶体取向和高结晶质量,适用于深紫外光探测及高功率电子器件。研究为其在下一代光电子器件中的集成应用提供了可行路径。
解读: 该ε-Ga2O3超宽禁带半导体技术对阳光电源功率器件升级具有前瞻价值。相比现有SiC器件,ε-Ga2O3禁带宽度更大(>4.9eV),可实现更高耐压等级和更低导通损耗,适用于ST系列储能变流器和SG系列1500V光伏逆变器的功率模块优化。其优异热稳定性可降低散热需求,提升PowerTitan储能系统...
基于深紫外光激发的低功耗Ga2O3纳米突触器件用于神经形态计算
Deep-UV-photo-excited synaptic Ga2O3 nano-device with low-energy consumption for neuromorphic computing
Liubin Yang1Xiushuo Gu1Min Zhou2Jianya Zhang3Yonglin Huang4Yukun Zhao5 · 半导体学报 · 2025年1月 · Vol.46
突触纳米器件在逻辑、存储与学习方面具有强大能力,是构建类脑神经形态计算系统的关键组件。本文成功研制了一种基于Ga2O3纳米线的低功耗突触纳米器件,在255 nm光照下可模拟生物突触的多种功能,如脉冲易化、峰时依赖可塑性及记忆学习能力。该器件展现出优异的“学习-遗忘-再学习”特性,其短时至长时记忆的转变及逐步学习后的记忆保持归因于Ga2O3纳米线的强再学习能力。单次突触事件能耗低于2.39×10⁻¹¹ J,并在长期刺激与存储中表现出高稳定性。应用于神经形态计算时,经12轮训练后数字识别准确率超90...
解读: 该Ga2O3纳米突触器件的低功耗神经形态计算技术对阳光电源智能控制系统具有前瞻性启发价值。其2.39×10⁻¹¹J的超低单次事件能耗和自适应学习能力,可应用于iSolarCloud云平台的智能诊断算法优化,通过类脑计算实现光伏/储能系统的故障模式识别与预测性维护。在ST储能变流器和PowerTita...
基于热电冷却器的β-Ga2O3肖特基势垒二极管主动热管理
Active Thermal Management for β-Ga2O3 Schottky Barrier Diodes Based on Thermoelectric Coolers
Longbing Yi · Xuefeng Zheng · Fang Zhang · Shaozhong Yue 等6人 · IEEE Transactions on Electron Devices · 2025年5月
鉴于β - Ga₂O₃的热导率较低,有效散热对于维持其高输出功率和可靠性至关重要。本研究采用实验和数值方法,提出了一种使用热电冷却器(TEC)的β - Ga₂O₃肖特基势垒二极管(SBD)有源热管理模型。SBD产生的热量可通过热电(TE)材料的珀尔帖效应有效散发到周围环境中。实验结果表明,当TEC输入电流为6 A时,即使SBD输出功率达到25 W,管壳温度仍保持在25℃以下,与TEC关闭时相比,结温最大降低了74.5℃。当TEC输入电流为3 A时,SBD的净输出功率达到11.8 W,提升比例为3...
解读: 从阳光电源的业务视角来看,这项基于热电制冷器的β-Ga2O3肖特基二极管主动热管理技术具有重要的战略意义。β-Ga2O3作为超宽禁带半导体材料,其击穿电压可达Si器件的10倍以上,理论上能够显著提升光伏逆变器和储能变流器的功率密度与效率。然而,其固有的低热导率(约为SiC的1/10)一直是制约商业化...
基于SiC的C波段β-Ga₂O₃射频功率MOSFET实现高输出功率密度与低微波噪声系数
C-Band β-Ga₂O₃-on-SiC RF Power MOSFETs With High Output Power Density and Low Microwave Noise Figure
作者未知 · IEEE Transactions on Electron Devices · 2025年1月
在这封信中,我们表明,通过采用重掺杂沟道以降低沟道电阻,并使用高导热性的碳化硅(SiC)衬底来增强散热,基于碳化硅衬底的β - Ga₂O₃射频(RF)功率金属 - 氧化物 - 半导体场效应晶体管(MOSFET)能够在C波段应用中实现高输出功率密度(${P}_{\text {out}}$)。通过这些措施,基于碳化硅衬底的β - Ga₂O₃射频MOSFET展现出730 mA/mm的漏极电流密度(${I}_{\text {D}}$)和81 mS/mm的峰值跨导($g_m$)。因此,其截止频率(${f}...
解读: 从阳光电源的业务视角来看,这项β-Ga₂O₃射频功率MOSFET技术虽然聚焦于C波段高频应用,但其底层技术突破对我们的核心业务具有重要启示意义。 该研究通过重掺杂沟道降低通态电阻和采用高导热SiC基板抑制自热效应的技术路径,与我们在光伏逆变器和储能变流器中面临的功率密度提升和热管理挑战高度契合。特...
具有压电/光控调制功能的Ga₂O₃基光电突触用于多模态感知
Ga₂O₃-Based Optoelectronic Synapse With Piezo/Photo-Gated Modulation for Multimodal Perception
Hongbin Wang · Peng Li · Lin Yang · Zhongzheng Jin 等6人 · IEEE Electron Device Letters · 2025年7月
摘要:Ga₂O₃凭借高的深紫外(DUV)响应度和持续光电导(PPC)特性,可用于实现低功耗突触器件。然而,现有Ga₂O₃突触中PPC弛豫可控性有限,限制了其可塑性的可调性。本研究展示了一种用于多模态感知的压电/光门控调制的Ga₂O₃/ZnO突触器件。该器件在254 nm光脉冲作用下表现出可重构的突触可塑性,包括双脉冲易化、短期到长期可塑性转变以及动态权重调制。关键的是,-0.57%的压应变使突触权重变化提高了22%(从1076.3%提升至1310.2%),这归因于异质结界面处应变诱导的能带弯曲,...
解读: 从阳光电源的业务视角来看,这项基于Ga₂O₃/ZnO异质结的光电突触技术虽然目前聚焦于神经形态计算领域,但其核心机制对我们的新能源业务具有潜在的交叉价值。 该技术的深紫外响应特性和持续光电导效应,为光伏系统的智能化感知提供了新思路。在我们的光伏逆变器和储能系统中,集成化的传感-存储-处理能力可显著...
超)宽禁带半导体在极端环境电子学中的应用 ((Ultra)wide-bandgap semiconductors for extreme environment electronics
Rongming Chu · Kevin Chen · Hong Kong · Ronald Schrimpf · Applied Physics Letters · 2025年1月 · Vol.126
宽禁带(WBG)半导体如SiC和GaN因其高击穿电场而在功率电子领域广泛应用。除功率电子外,WBG半导体在辐射、高能粒子及高温等极端环境下电子器件的应用也日益受到关注。为进一步发挥宽禁带优势,Ga2O3、B-Al-Ga-N和金刚石等超宽禁带(UWBG)半导体亦成为研究热点。本专题涵盖(U)WBG半导体的辐射效应、极端温度下的器件性能,以及材料生长、器件制备、电学与结构表征等方面的最新进展。
解读: 该(超)宽禁带半导体极端环境应用研究对阳光电源多产品线具有重要价值。针对ST系列储能变流器和PowerTitan大型储能系统,UWBG器件(Ga2O3、金刚石)的高温特性可提升沙漠、热带等高温环境下的系统可靠性,降低散热成本。辐射耐受性研究为光储系统在高海拔、航天等特殊场景应用提供技术支撑。SiC/...
基于β-Ga₂O₃的热中子探测器演示
Demonstration of β-Ga2O3-Based Thermal Neutron Detector
Xiangdong Meng · Xinyi Pei · Yuncheng Han · Na Sun 等6人 · IEEE Electron Device Letters · 2024年12月
利用超宽带隙半导体(如氧化镓(Ga₂O₃)和金刚石)的紧凑型、高精度、耐用型热中子探测器,在恶劣环境下对核反应堆进行安全、长期的堆芯附近监测方面具有巨大潜力。然而,实现低器件漏电流和高效中子探测仍然是一项重大挑战。在这项工作中,我们展示了首个基于大面积(9平方毫米)p - NiO/β - Ga₂O₃异质结二极管的热中子探测器。该器件的界面陷阱密度较低,这通过轻微的电容 - 频率色散和低1/f噪声等效功率得以证明,从而实现了超低漏电流(在 - 200 V时为10⁻⁸ A)。因此,它对α粒子(5.4...
解读: 从阳光电源的业务视角来看,这项基于β-Ga2O3的热中子探测器技术虽然聚焦于核辐射监测领域,但其底层的超宽禁带半导体材料技术与我们在功率电子器件领域的发展方向存在重要关联性。 β-Ga2O3作为新一代超宽禁带半导体材料,其禁带宽度达4.8eV,远超碳化硅(3.3eV)和氮化镓(3.4eV)。论文展...
高温O2退火对Al2O3/Ga2O3界面质量的影响
The effect of O2 high-temperature annealing on the quality of Al2O3/Ga2O3 interface
Chunyan Chen · Yutong Wu · Bing Jiang · Zhixiang Zhong 等6人 · Applied Physics Letters · 2025年1月 · Vol.127
深圳大学材料科学与工程学院、电子与信息工程学院、射频异质集成国家重点实验室、功率器件与人工智能能源监测技术研究所研究了高温O2退火对Al2O3/Ga2O3界面特性的影响。通过不同温度退火处理,系统分析了界面态密度、固定电荷及界面缺陷的演变规律,发现适当高温退火可有效降低界面态密度,提升界面质量。结果表明,退火有助于改善介质/半导体界面的化学稳定性和电学性能,为高性能β-Ga2O3功率器件的优化提供理论依据和技术支持。
解读: 该Al2O3/Ga2O3界面优化技术对阳光电源功率器件研发具有重要价值。β-Ga2O3作为超宽禁带半导体(Eg~4.8eV),其击穿场强是SiC的3倍,适用于高压大功率应用场景。研究揭示的高温O2退火工艺可降低介质/半导体界面态密度,直接提升MOS栅结构的可靠性和开关特性,可应用于:1)ST系列储能...
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