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一种在ZVS运行下具有宽范围功率调节的高功率模块化射频变换器
A High-Power Modular Radio Frequency Converter With Wide-Range Power Regulation Under ZVS Operation
| 作者 | Jingtao Wang · Xin Liu · Dehong Zhou · Zewei Shen · Jianxiao Zou |
| 期刊 | IEEE Transactions on Power Electronics |
| 出版日期 | 2026年4月 |
| 技术分类 | 拓扑与电路 |
| 技术标签 | DC-DC变换器 功率模块 宽禁带半导体 |
| 相关度评分 | ★★ 2.0 / 5.0 |
| 关键词 | 射频变换器 功率调节 ZVS运行 高效率 模块化拓扑 半导体制造 电力电子 |
语言:
中文摘要
射频变换器（RFC）广泛应用于半导体制造，要求高功率、高效率及宽功率调节范围。现有方案存在调节范围离散、低功率下因无功功率和硬开关导致效率低下，或为平衡效率与调节范围而引入复杂辅助电路等问题。本文提出一种新型高功率模块化RFC拓扑，旨在实现宽范围功率调节并保持ZVS运行。
English Abstract
Radio frequency converter (RFC) is widely used in semiconductor manufacturing, demanding high power levels, high efficiencies, and wide power regulation ranges. However, existing solutions face issues like discrete regulation ranges, low efficiencies at low power levels due to high reactive power and hard switching, or complex auxiliary circuits for balancing the power regulation range and efficie...
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SunView 深度解读
该文献探讨的射频变换器（RFC）主要针对半导体制造领域，与阳光电源现有的光伏、储能及充电桩业务在应用场景上有显著差异。然而，其核心技术点——“宽范围功率调节”与“ZVS软开关技术”在电力电子领域具有通用性。建议研发团队关注其模块化拓扑设计及软开关控制策略，这些技术可作为储备，用于优化阳光电源高功率密度组串式逆变器或下一代高频化储能变流器（PCS）的效率提升与热管理设计，特别是在轻载工况下的效率优化方面具有参考价值。