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用于永磁直线同步电机驱动运动平台的集成不确定性/扰动补偿二阶滑模观测器
Integrated Uncertainty/Disturbance Compensation With Second-Order Sliding-Mode Observer for PMLSM-Driven Motion Stage
| 作者 | Rui Yang · Mingyi Wang · Liyi Li · Yiming Zenggu · Jialin Jiang |
| 期刊 | IEEE Transactions on Power Electronics |
| 出版日期 | 2019年3月 |
| 技术分类 | 控制与算法 |
| 技术标签 | PWM控制 故障诊断 |
| 相关度评分 | ★★ 2.0 / 5.0 |
| 关键词 | PMLSM 运动平台 滑模观测器 扰动补偿 参数不确定性 高动态响应 位置精度 |
语言:
中文摘要
针对半导体制造设备及机床中永磁直线同步电机（PMLSM）驱动系统，提出了一种集成不确定性与扰动补偿的二阶滑模观测器。该方法旨在解决直接驱动结构中参数不确定性及外部扰动对系统动态响应和定位精度的影响，通过滑模控制策略实现高鲁棒性的运动控制。
English Abstract
The permanent magnet linear synchronous machine driven motion stage for the semiconductor manufacturing equipment and machine tools has the basic requirement of high-dynamic response and high position accuracy. However, due to the direct-drive structure, the effect of parameter uncertainty, including the electrical and the mechanical one, and external disturbance will be directly exerted to the st...
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SunView 深度解读
该文献聚焦于高精度运动控制与扰动补偿算法，虽主要针对半导体制造设备中的直线电机，但其核心的滑模观测器（SMO）与扰动补偿技术在阳光电源的电力电子控制领域具有参考价值。例如，在光伏逆变器或储能变流器（PCS）的电流环控制中，针对弱电网环境下的参数扰动，可借鉴此二阶滑模观测器设计，提升系统的鲁棒性与动态响应速度。此外，对于iSolarCloud智能运维平台涉及的设备状态监测与故障诊断算法，该文提出的扰动补偿思路可用于优化电机类负载或关键功率器件的运行状态评估。