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储能系统技术 储能系统 SiC器件 ★ 5.0

重离子辐照引起SiC功率MOSFET栅氧损伤的研究

Investigation on Gate-Oxide Damage of SiC Power MOSFETs Induced by Heavy Ion

Ziwen Chen · Yuxiao Yang · Ruize Sun · Yijun Shi 等6人 · IEEE Transactions on Electron Devices · 2025年6月

近期研究表明,碳化硅(SiC)功率MOSFET在重离子辐照后,在极低的漏极应力水平下就会出现故障,且结构损伤主要集中在氧化层。然而,其损伤机制尚未得到精确分析。本研究考察了器件在不同漏极偏置条件下的栅极损伤机制。在200 V漏极偏置下,1200 V SiC功率MOSFET的栅极结构未出现损伤。漏极偏置高于200 V时,器件的损伤位置集中在沟道区上方的氧化层。在以往的研究中,栅极电介质内皮秒级的瞬态电场被认为是氧化层损伤的主要原因;然而,仅这一机制无法解释本文所报道的现象。因此,本文通过计算重离子...

解读: 从阳光电源的业务视角来看,这项关于SiC功率MOSFET栅氧化层重离子损伤机制的研究具有重要的战略意义。SiC器件已成为我们新一代光伏逆变器和储能变流器的核心功率开关,其可靠性直接影响系统的长期稳定运行。 该研究揭示了一个关键发现:在200V以上漏极偏置条件下,重离子辐照会在沟道区域上方的氧化层造...