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基于新型纳米银烧结方法的6英寸晶圆键合实现与评估
Achievement and Assessment of 6-in Wafer Bonding Based on a Novel Nanosilver Sintering Method
Xiaoguang Wei · Xiaoliang Zhao · Xinling Tang · Liang Wang 等6人 · IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology · 2025年2月
晶圆级功率器件,包括晶闸管及其衍生器件,如集成门极换流晶闸管(IGCT),电力传输系统为支持社会发展对其性能提出了更高要求,这对热管理构成了重大挑战。对于这些压接式器件,使用热界面材料(TIMs)是通过降低接触热阻来增强散热的实用方法。考虑到导电性要求,纳米银烧结被认为是一种合适的技术。然而,由于随着连接面积的增大,有机排放问题更为严峻且热应力更高,纳米银烧结的大面积键合应用受到限制。在本研究中,采用由预烧结银和银箔组成的三层自立式薄膜实现了晶圆级键合。使用硅晶圆来模拟晶圆级器件,以提高该工艺的...
解读: 从阳光电源的业务视角来看,这项6英寸晶圆级纳米银烧结键合技术具有重要的战略价值。该技术针对晶闸管及IGCT等压接式功率器件的热管理难题,通过创新的三层复合结构(预烧结银+银箔)实现了大面积键合,这与我们在大功率光伏逆变器和储能变流器中面临的散热挑战高度契合。 该技术的核心突破在于解决了传统纳米银烧...