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功率器件技术 宽禁带半导体 ★ 5.0

超宽禁带Al0.65Ga0.35N沟道HEMT中低接触电阻与高击穿电压

>2.5 kV)输运特性研究

Swarnav Mukhopadhyay · Khush Gohel · Surjava Sanyal · Mayand Dangi 等5人 · Applied Physics Letters · 2025年1月 · Vol.126

本文报道了基于Al0.65Ga0.35N沟道的超宽禁带HEMT器件,实现了低接触电阻和高击穿电压(>2.5 kV)。通过优化欧姆接触工艺与异质结构设计,显著提升了二维电子气的输运性能。实验结果表明,该器件在高温和高电场下仍保持优异的载流子迁移率与电流稳定性,揭示了高铝组分氮化物在高压功率电子中的潜力。

解读: 该超宽禁带Al0.65Ga0.35N HEMT器件研究对阳光电源高压功率产品具有重要参考价值。2.5kV以上的高击穿电压特性可应用于ST系列储能变流器和SG系列高压光伏逆变器的功率模块升级,低接触电阻和优异的高温载流子输运性能有助于提升PowerTitan大型储能系统的功率密度和效率。这项技术为下一...