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基于多逆变器离散功率回退的高效率宽范围射频功率生成系统

High-Efficiency Wide-Range RF Power Generation Systems With Discrete Power Back-Off From Multiple Inverters

Haoquan Zhang · Alexander S. Jurkov · Vladimir Kozitsky · Ky Luu 等6人 · IEEE Transactions on Power Electronics · 2024年9月

摘要:工业射频(RF)功率应用,如用于半导体加工的等离子体产生,需要在较宽的动态功率范围和可变负载阻抗条件下传输射频功率。理想情况下,射频功率系统应在整个工作功率范围内保持高效率、连续功率控制和快速动态响应。本文介绍了一种适用于此类应用的可扩展开关模式功率放大器(PA)架构和控制方法。我们将这种方法称为多逆变器离散回退(MIDB),它以无损方式组合开关模式功率放大器的输出,并对有源功率放大器的数量进行调制,以实现射频输出的离散步进。此外,该方法还采用离散电源调制和功率放大器组间的正交移相技术,以...

解读: 从阳光电源的业务视角来看,这篇论文提出的多逆变器离散功率回退(MIDB)架构虽然聚焦于射频功率应用,但其核心技术理念与我们在光伏逆变器和储能系统领域的技术演进方向高度契合,具有重要的借鉴价值。 该技术的核心价值在于通过多模块协同控制实现宽范围高效功率输出。论文采用的GaN基零电压开关D类功率放大器...