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基于多逆变器离散功率回退的高效宽范围射频功率产生系统
High-Efficiency Wide-Range RF Power Generation Systems With Discrete Power Back-Off From Multiple Inverters
| 作者 | Haoquan Zhang · Alexander S. Jurkov · Vladimir Kozitsky · Ky Luu · Anas Al Bastami · Grace Cassidy · Aaron Radomski · David J. Perreault |
| 期刊 | IEEE Transactions on Power Electronics |
| 出版日期 | 2025年1月 |
| 技术分类 | 拓扑与电路 |
| 技术标签 | 多电平 功率模块 PWM控制 |
| 相关度评分 | ★★ 2.0 / 5.0 |
| 关键词 | 射频功率产生 功率回退 多逆变器 高效率 宽动态范围 等离子体产生 电力电子 |
语言:
中文摘要
本文针对半导体加工等工业射频（RF）应用，提出了一种可扩展的射频功率产生系统。该系统通过多逆变器离散功率回退技术，解决了在宽动态功率范围和可变负载阻抗下，难以同时保持高效率、连续功率控制及快速动态响应的难题。
English Abstract
Industrial radio frequency (rf) power applications, such as plasma generation for semiconductor processing, require the delivery of rf power over a wide dynamic power range and across variable load impedances. It is desirable for the rf power system to maintain high efficiency, continuous power control, and fast dynamic response over the operating power range. This article introduces a scalable sw...
S
SunView 深度解读
该文献探讨的射频功率产生系统虽主要面向半导体加工领域，但其核心技术——多逆变器离散功率回退与宽范围高效率控制，对阳光电源的电力电子拓扑研究具有参考价值。在光伏逆变器和储能变流器（PCS）领域，随着对宽电压范围和高效率要求的提升，该文提出的多模块并联与功率分配策略，可为阳光电源优化组串式逆变器在极端工况下的效率曲线提供思路。此外，该技术中涉及的快速动态响应控制策略，也可为未来探索更高性能的电能变换拓扑提供技术储备。