Christian Schlager · Romain Albert · Silent Waves · Gerhard Kirchmair · Applied Physics Letters · 2025年1月 · Vol.127

在行波参量放大器（TWPAs）中，为补偿非线性元件（如约瑟夫森结或高动能电感材料）引入的额外电感并实现50 Ω阻抗匹配，需采用低损耗电容器。本文报道了一种真空间隙微带线的制备工艺，其接地层在无介质支撑的情况下悬置于中心导体上方。该结构不仅可实现高电容传输线，还可构建空气桥和紧凑型平行板电容器。通过在稀释制冷环境中测试分布式铝和颗粒铝谐振器，验证了工艺性能，测得的品质因数与当前先进TWPAs工艺相当。同时研究了品质因数随输入功率和温度的变化特性。

解读: 该真空间隙微带谐振器技术虽源于量子计算领域，但其低损耗高品质因数电容结构对阳光电源功率器件设计具有启发意义。在ST系列储能变流器和SG光伏逆变器的高频功率变换电路中，谐振电容的损耗直接影响系统效率。该研究展示的无介质悬浮结构可降低寄生电容和介质损耗，其50Ω阻抗匹配设计思路可应用于SiC/GaN器件...