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基于多逆变器离散功率回退的高效宽范围射频功率产生系统
High-Efficiency Wide-Range RF Power Generation Systems With Discrete Power Back-Off From Multiple Inverters
Haoquan Zhang · Alexander S. Jurkov · Vladimir Kozitsky · Ky Luu 等8人 · IEEE Transactions on Power Electronics · 2025年1月
本文针对半导体加工等工业射频（RF）应用，提出了一种可扩展的射频功率产生系统。该系统通过多逆变器离散功率回退技术，解决了在宽动态功率范围和可变负载阻抗下，难以同时保持高效率、连续功率控制及快速动态响应的难题。
解读: 该文献探讨的射频功率产生系统虽主要面向半导体加工领域，但其核心技术——多逆变器离散功率回退与宽范围高效率控制，对阳光电源的电力电子拓扑研究具有参考价值。在光伏逆变器和储能变流器（PCS）领域，随着对宽电压范围和高效率要求的提升，该文提出的多模块并联与功率分配策略，可为阳光电源优化组串式逆变器在极端工...