Jiawei Li · Xuankai Xu · Yang Li · Tao Wu · Applied Physics Letters · 2025年1月 · Vol.126

本文报道了一种基于氮化铝钪薄膜的新型电可调悬浮声学波导，可通过施加垂直电场动态调控传播声波的相位。结合仿真与实验，研究了波导宽度及固有色散特性对相位调制的影响。结果表明，在1.05 GHz下，200 μm长波导在±40 V直流偏压时，宽度为10、20和30 μm的器件相移分别为37.2°、40.8°和44.7°，且更宽波导表现出更大的相位滞后。器件Vπ·L低至6.44 V·cm，显示其高效低功耗的相位调控能力，有望用于高性能声学信号处理系统。

解读: 该电可调声学波导技术虽属微纳声学器件领域，但其核心的压电薄膜调控机制对阳光电源功率电子产品具有启发意义。Al0.7Sc0.3N薄膜的高压电系数和低电压调控特性（Vπ·L=6.44 V·cm），可借鉴应用于ST储能变流器和SG逆变器的高频滤波器设计，通过压电材料优化EMI抑制性能。GHz频段的相位调制...