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功率器件技术 GaN器件 ★ 4.0

基于p型NiO/SiO2结三栅结构的2.7 kV E型多通道GaN-on-Si器件

2.7 kV E-Mode Multichannel GaN-on-Si Based on p-Type NiO/SiO2 Junction Tri-Gate

Amirhossein Esteghamat · Zheng Hao · Mohammad Rezaei · Walid El Huni 等6人 · IEEE Electron Device Letters · 2025年6月

在这项工作中,基于 p 型 NiO/SiO₂ 作为栅堆叠结构,展示了一种增强型(E 模式)多通道高电子迁移率晶体管(HEMT),以形成结型三栅结构。NiO 提供了高空穴浓度(≈10¹⁹ cm⁻³),导致栅极下方多个二维电子气(2DEG)通道中的电子被有效耗尽。一层薄的 SiO₂ 层充当牺牲层,防止在沉积 NiO 过程中鳍片受损。因此,与仅使用 SiO₂ 相比,使用尺寸大 3 倍的三栅鳍片可实现 E 模式操作,阈值电压(Vₜₕ)为 0.7 V(在 1 μA/mm 时),阈值电压迟滞可忽略不计(ΔV...

解读: 从阳光电源的业务视角来看,这项2.7kV增强型多沟道GaN功率器件技术展现出显著的应用价值。该技术采用p型NiO/SiO2结型三栅结构,成功实现了0.7V的正阈值电压和极低的阈值漂移(0.05V),这对于光伏逆变器和储能变流器的安全可靠运行至关重要,可有效避免误导通风险。 技术性能方面,器件在20...