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储能系统技术 储能变流器PCS ★ 4.0

功率半导体模块芯片背面金属化与焊料合金界面相互作用研究

Study on the interface interaction between the chip backside metallization and solder alloys of power semiconductor modules

Shilin Zhao · Erxian Yao · Chunbiao Wang · Journal of Materials Science: Materials in Electronics · 2025年1月 · Vol.36.0

功率半导体模块是电力转换系统的核心器件,其芯片-焊料界面是可能导致模块失效的薄弱环节之一,需进行深入研究。本文研究了芯片背面金属化层(BSM)、焊料合金种类及焊接条件对回流焊过程中界面反应的影响,并通过高温存储(HTS)和高温高湿反偏(HTRB)等加速老化试验进一步评估了界面结合性能。结果表明,当Al–Ti–Ni–Ag结构的芯片背面金属化层与Sn基焊料发生反应时,使用SAC305焊料生成了(Cu, Ni)6Sn5金属间化合物(IMC),而使用SnSb5焊料则可能形成(Cu, Ni)6(Sn, S...

解读: 该芯片背金属化与焊料界面研究对阳光电源ST系列储能变流器及SG系列光伏逆变器的功率半导体模块可靠性提升具有重要价值。研究揭示Al-Ti-Ni-Ag背金属化层中Ni层厚度需优化以确保IMC层连续性,避免分层失效。建议在SiC/GaN功率器件封装中采用较厚Ni层设计,优化回流焊接工艺参数,并在Power...