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集成爆炸箔的串联微爆炸桥平面放电开关性能增强研究
Enhanced Performance of Series Microexploding Bridge Planar Discharge Switch Integrated With Exploding Foil
| 作者 | Kehua Han · Wanjun Zhao · Xin Zeng · Enyi Chu · Qingjie Jiao |
| 期刊 | IEEE Transactions on Power Electronics |
| 出版日期 | 2023年3月 |
| 技术分类 | 拓扑与电路 |
| 技术标签 | 功率模块 可靠性分析 有限元仿真 |
| 相关度评分 | ★★ 2.0 / 5.0 |
| 关键词 | 微爆炸桥 平面放电开关 爆炸箔 静电场 击穿电压 磁控溅射 光刻 |
语言:
中文摘要
为实现爆炸箔起爆器的小型化与低成本,本文利用磁控溅射和光刻蚀刻技术,制备了与爆炸箔集成的一体化单级及串联微爆炸桥平面放电开关(MEB-PDS)。研究分析了该开关的静电场强度与击穿电压特性,旨在优化高压脉冲放电过程中的能量转换效率与开关性能。
English Abstract
To achieve the low energy, miniaturization, and low cost of the exploding bridge foil initiator, single and series microexploding bridge planar discharge switch (MEB-PDS) coplanar and cocathode integrated with exploding bridge foil is fabricated by magnetron sputtering and photolithography forming etching in this work. The maximum electrostatic field strength and breakdown voltage of the MEB-PDS a...
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SunView 深度解读
该研究关注微型化高压脉冲开关技术,主要应用于精密起爆或高能脉冲电源领域,与阳光电源现有的光伏逆变器、储能PCS及充电桩等主流电力电子产品线关联度较低。然而,其采用的磁控溅射与光刻微纳加工工艺,以及对高压击穿特性的仿真分析方法,可为公司在功率模块封装、高压绝缘设计及极端工况下的可靠性评估提供前沿技术参考。建议关注该类微纳制造工艺在未来高功率密度功率模块集成中的潜在应用价值。